Alvo de pulverização de tungstênio

O metal de tungstênio de alta pureza usado para fazer alvos de pulverização de tungstênio é normalmente frágil e difícil de trabalhar. O tungstênio pode manter sua dureza (que é maior que a de muitos aços) e tem ductilidade suficiente para torná-lo simples de processar se for formado em um material muito puro. Passa por processos de forjamento, estiramento ou extrusão. Normalmente, a sinterização também é usada para criar objetos de tungstênio.

O tungstênio tem a resistência à tração mais forte, a menor pressão de vapor (em temperaturas superiores a 1650 graus, 3000 graus F) e o ponto de fusão mais alto de todos os metais na forma pura (3422 graus, 6192 graus F). De todos os metais puros, o tungstênio tem o menor coeficiente de expansão térmica. Fortes conexões covalentes criadas pelos elétrons 5d entre os átomos de tungstênio dão ao tungstênio sua baixa expansão térmica, alto ponto de fusão e grande resistência à tração. O aço torna-se significativamente mais durável quando o tungstênio é ligado a ele em quantidades modestas.

A produção de alvos de pulverização catódica de tungstênio em uma variedade de formas e pureza é uma especialidade da Yusheng Metal, que é usada principalmente em semicondutores e microeletrônicos. Por ter o ponto de fusão mais alto de todos os metais, as camadas de tungstênio, que fazem parte dos transistores de película fina usados ​​nas telas TFT-LCD, são incrivelmente estáveis ​​em ambientes de alta temperatura. Nossos alvos têm maior densidade, menor tamanho médio de partícula e maior pureza como resultado de nossas técnicas de formação exclusivas, permitindo que você aproveite um processo mais rápido devido a velocidades de pulverização catódica mais altas e produza camadas de tungstênio muito homogêneas.

Nossa técnica de produção flexível nos permite modificar a microestrutura para produzir o resultado desejado. O usuário pode lucrar com taxas de erosão constantes e camadas homogêneas se os grãos do alvo de pulverização estiverem uniformemente alinhados. 100 m é o tamanho de grão típico.

Um alvo de pulverização catódica deve ter excelente pureza química, pois isso resultará em filmes com maior condutividade elétrica e menor formação de partículas durante o processo PVD. O Certificado de Análise típico para um alvo de tungstênio 3N5 é fornecido abaixo.

Técnicas Analíticas:

1. GDMS e ICP-OES foram usados ​​para examinar elementos metálicos.
2. A LECO examinou os componentes do gás.

Preparação do material, sinterização e análise química são as etapas na preparação do alvo de pulverização catódica de tungstênio. Laminação, análise, inspeção metalográfica, fabricação, inspeção tridimensional, limpeza, inspeção final, embalagem e expedição

Alvo de pulverização catódica de tungstênio e sua técnica de preparação
Pureza acima de 99,95%, 2,2–2,6 mm, prensagem isostática a frio por 5–10 minutos, 2300–2400 graus, 8–12 horas de sinterização por indução de frequência intermediária e mistura de pó de tungstênio de 1450–1500 graus. É laminado a quente com uma espessura de 5 a 15 mm por várias passagens, com uma deformação total de mais de 60%, após recozimento a 1550 graus por 90 a 180 minutos. Após um período de recozimento de 90 a 150 minutos a 1300 a 1400 graus, o processamento mecânico é realizado. O material alvo de tungstênio final não é apenas bom em desempenho, mas também razoavelmente fácil de processar e não requer equipamentos caros. A quantidade de processamento mecânico na superfície é de cerca de 1,5 mm.

Outras ligas de alvo de tungstênio estão disponíveis.
Alvos feitos de titânio de tungstênio, liga de titânio de tungstênio, cobre de tungstênio, manganês de tungstênio, níquel de tungstênio, etc.

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