Alvo Planar de Nióbio

Os alvos de sputtering requerem composição homogênea, tamanho de partícula adequado e orientação cristalográfica específica, e os altos requisitos desses alvos de sputtering visam alcançar uma taxa de deposição de filme uniforme em todo o substrato. Os alvos de nióbio são usados ​​principalmente em materiais de engenharia de superfície, como telas de cristal líquido, química e marinha, e indústrias de revestimento, como resistência ao calor, resistência à corrosão e alta condutividade. Um alvo de nióbio plano é um alvo de nióbio com um diâmetro maior ou igual a 150 mm, que geralmente é chamado de alvo nu, e o usuário primeiro o solda com um alvo traseiro de cobre ou alumínio ao usá-lo e depois pulveriza para depositar átomos de nióbio no material do substrato para obter o revestimento por pulverização. Para alcançar a uniformidade do revestimento, o alvo de nióbio planar precisa esmagar os cristais de fundição de lingote de nióbio para garantir que a estrutura interna do alvo de nióbio seja completamente recristalizada, o tamanho do grão seja inferior a 100 μπι e seja uniforme.

Nossa empresa fornece um novo método de preparação, incluindo as seguintes etapas: os lingotes de nióbio são forjados radialmente e alongados em quadrado, os lingotes de nióbio forjados são decapados e os lingotes de nióbio decapados são tratados termicamente; Em seguida, os lingotes de nióbio são achatados e forjados, os lingotes de nióbio forjados são decapados e os lingotes de nióbio decapados são tratados termicamente; Finalmente, os lingotes de nióbio são rolados para obter um alvo planar de nióbio.

No processo de preparação de um alvo de nióbio, o processo de forjamento é uma combinação de forjamento radial quadrado, alongamento axial e achatamento, de modo que a região do cristal colunar no lingote de nióbio, a região central do cristal equiaxial e a vizinhança da borda do nióbio o lingote de nióbio, o fluxo de metal da parte central do blank aumenta, a irregularidade da estrutura central é significativamente melhorada, e a estrutura de cristal grosseiro fundido original é totalmente quebrada em várias direções sob força multidirecional, promovendo assim o lingote de nióbio para obter uma estrutura de grão relativamente uniforme. Evita a presença de tecidos nocivos como tecido em "banda de cristal" e tecido cristalino grosseiro deixado pela parte central sem fragmentação efetiva; Na fase de laminação, a deformação dos lingotes de nióbio é mais uniforme e, após o processamento, com o processo de tratamento térmico intermediário, a estrutura do material alvo de nióbio é cada vez mais homogênea e refinada e, finalmente, uma estrutura cristalina equiaxial alvo de nióbio planar com uma estrutura uniforme e granulometria inferior a 100 μ m. Portanto, uma estrutura cristalina equiaxial com tecido uniforme e tamanho de grão inferior a 100 μπι foi obtida por este método de preparação.

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