As maiores fábricas de alvos de pulverização catódica do mundo atualmente produzem alvos de pulverização catódica de liga de alumínio usando dois processos separados. formado usando moldagem por spray. De acordo com técnicas reconhecidas de fundição e forjamento, a adição de materiais de liga durante a produção de alvos de pulverização catódica de liga de alumínio freqüentemente resulta na segregação dos alvos, o que, por sua vez, reduz a qualidade dos filmes de pulverização catódica e é provável que se formem micropartículas na superfície do alvo de pulverização catódica, o que também alterará a distribuição uniforme das características do filme.
Embora os problemas relacionados listados acima possam ser evitados, se o alvo de pulverização catódica de liga de alumínio for fabricado utilizando o processo de formação por pulverização conhecido, ele ainda produzirá o alvo de pulverização catódica. O custo de produção aumenta significativamente, especialmente quando se fazem alguns alvos de pulverização catódica que são difíceis de forjar e exigem o uso de equalização a quente.
Esta técnica utiliza pó de pulverização de gás para criar alvos de pulverização catódica de liga de alumínio, o que torna a produção de alvos de liga de titânio-alumínio mais simples e menos dispendiosa. O pó da liga é peneirado em comparação com o pó da matéria-prima do alvo de pulverização catódica para obter o tamanho correto de partícula de pó e, em seguida, o pó é prensado a quente a vácuo para criar o alvo de pulverização catódica de liga de alumínio. A criação de diferentes alvos de pulverização catódica de liga de alumínio (alumínio- cromo, alumínio-silício-cobre, alumínio-titânio, etc.) podem ser realizados usando este método de produção de alvos de pulverização catódica de liga de alumínio com pó de pulverização de ar.
O procedimento recomendado para implementação é primeiro fornecer matérias-primas metálicas para a fabricação de alvos de pulverização catódica de liga de alumínio e derretê-los em metal fundido; em seguida, faça pós metálicos a partir do metal fundido usando o método de pulverização de gás; e finalmente, aqueça os pós metálicos usando vácuo. formado em uma liga de alumínio que irá disparar e passar através de um gás inerte como gás de proteção. Este processo pode produzir alvos de pulverização catódica de alta qualidade de forma mais rápida e acessível, evitando as desvantagens da segregação de material e micropartículas.
