Os alvos de pulverização catódica são amplamente empregados em muitas indústrias graças ao avanço da ciência e da tecnologia. Hoje, apresentarei principalmente os processos de produção de alvos de molibdênio e alvos de alumínio.
Usando metalurgia do pó, um alvo em branco é criado para o material alvo de molibdênio. O alvo em branco é processado mecanicamente e soldado com backplane de cobre livre de oxigênio (OFC) em um ambiente limpo para formar um alvo básico. O alvo básico não é destrutivo pela inspeção ultrassônica de detecção de falhas, a taxa de ligação da soldagem atinge 98% ou mais e, em seguida, o processamento mecânico fino é realizado para garantir a precisão do material alvo e atender à irradiação
Processo para produzir material alvo de alumínio: A matéria-prima é primeiro cortada em pedaços na fábrica, melhorada através de processamento de plástico e tratamento térmico para criar um alvo em branco, que é então processado mecanicamente e limpo usando um backplane de cobre livre de oxigênio (OFC).
Para garantir a precisão do material alvo e a conformidade com o campo elétrico alvo, campo magnético, canal de água de resfriamento, etc., o processamento mecânico fino é realizado após o material alvo básico ser soldado no ambiente. O material alvo básico é testado por inspeção ultrassônica não destrutiva e a taxa de combinação de soldagem está acima de 98%. Necessidades de instalação; após a limpeza e embalagem na sala limpa, o alvo finalizado é colocado em um saco plástico específico para proteção contra oxidação, poluição e umidade. Isso remove qualquer material inorgânico ou orgânico que possa ter aderido à superfície.
