Apr 19, 2023 Deixe um recado

Oito etapas do processo de preparação de alvos de pulverização catódica

Todos estamos cientes da estreita relação entre a tendência de desenvolvimento tecnológico de materiais-alvo e a tendência de desenvolvimento da preparação de alvos. A tecnologia alvo deve se adaptar de acordo com a forma como a indústria de aplicação avança a tecnologia de produtos ou componentes de filmes finos.Vamos seguir o editor para descobrir como o alvo foi preparado.

1. Para criar pó composto mecânico, misture pó de óxido de índio monômero com pó de óxido de estanho monômero em uma proporção de massa de 9: 1, ou primeiro crie pó composto químico de óxido de índio e estanho usando procedimentos químicos. -esférico, com tamanho médio de partícula de 30-200 nm e sem evidência de aglomeração forte.

2. Desoxidar o pó composto a 350 graus em ambiente de oxigênio.

3. Encha o envelope com o pó composto para prensagem isostática a frio. O óleo é usado como meio de prensagem isostática a frio e uma faixa de pressão de 200 a 280 MPa é usada. a densidade teórica.

4. Coloque o tarugo áspero dentro de um recipiente de tamanho apropriado. Para evitar que reajam a altas temperaturas e pressão, um filme metálico de tântalo, filme de níquel, filme de nióbio ou filme de platina é colocado entre o recipiente e o corpo áspero.

5. Aspire o recipiente e envolva-o com peças ásperas.

6. Insira o recipiente acima mencionado em um forno de prensagem isostática a quente. Com um período de espera de 0 0,5–6 horas e uma pressão atmosférica de argônio de 100–120 MPa, a prensagem isostática a quente ocorre em temperaturas entre 100 e 300 grau .

7. Remova o recipiente de aço carbono após prensagem isostática a quente por decapagem em ácido nítrico diluído, retire a barreira de folha metálica e colete o material desejado.

8. Para cortar o material alvo no tamanho desejado, use o método de corte com fio.

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