1. Corte o lingote de vanádio com pureza necessária de acordo com o tamanho alvo usando uma serra horizontal, pré-aqueça em 450-500 grau, forje e controle a taxa de deformação total do forjamento em 70-80%;
2. Recozir o lingote de vanádio forjado a uma temperatura de 400-500 grau e um tempo de retenção de 60-120min e, em seguida, resfriá-lo por resfriamento a ar;
3. Role o lingote de vanádio recozido e controle a quantidade de prensagem de cada passagem para 0.5-1mm e controle a deformação total para 70-80%, até que o alvo de vanádio em branco do o diâmetro e a espessura necessários são obtidos;
4. Recozir o alvo de vanádio laminado novamente a uma temperatura de 450-550 grau e um tempo de espera de 90-150min. Após o recozimento novamente, resfrie-o com água para obter o alvo em branco de vanádio de alta pureza necessário.
O alvo em branco de vanádio preparado desta forma não só possui uma estrutura interna uniforme, mas também possui a vantagem de grãos finos.
O material alvo deve ser de alta pureza, menos impurezas, composição química uniforme, sem segregação, sem poros, estrutura de grão uniforme e tamanho de grão de micrômetro a milímetro. A diferença de tamanho de grão em um único alvo de pulverização catódica deve ser a menor possível. Desta forma, não é fácil produzir fenômeno de descarga na pulverização catódica do magnetron, e o filme de pulverização catódica do magnetron é uniforme.
Aplicação de alvo de vanádio
Utilizado nas áreas de energia solar, displays de tela plana, eletrônica e semicondutores, como circuitos integrados, metalização de backplane, optoeletrônica e outras aplicações.
