Como todos sabemos, um dos principais indicadores de desempenho da meta é a pureza. Os requisitos de pureza do alvo diferem em aplicações práticas. O uso de material alvo de titânio de alta pureza é mais caro e tem uma janela de aplicação menor do que o titânio puro industrial típico. os principais usos para alvos de titânio de alta pureza?
Alvos de titânio de alta pureza são usados principalmente para:
1. Componentes biológicos
Como o titânio não é magnético, um campo magnético forte não fará com que ele fique magnetizado. Funciona bem com o corpo humano e não tem efeitos colaterais negativos. Pode ser utilizado para criar implantes para corpos humanos. No entanto, dada a dissolução de impurezas no titânio, a pureza do titânio para implantes deve ser tão alta quanto possível. Em geral, os materiais médicos de titânio não atingem o nível de titânio de alta pureza. As cintas biológicas podem ser feitas de fio de titânio de alta pureza.
2. Materiais para decoração
O titânio de alta pureza mantém sua tonalidade natural original mesmo após exposição prolongada à atmosfera, graças à sua alta resistência à corrosão atmosférica. Como resultado, os materiais para ornamentação arquitetônica também podem ser feitos de titânio de alta pureza. tem sido usado para fazer diversos acessórios e roupas de luxo, incluindo pulseiras, relógios e armações de óculos. O titânio é utilizado porque é resistente à corrosão, não muda de cor, pode reter um bom brilho por um período muito longo e não irrita a pele humana ao entrar em contato com ele. O nível de pureza 5N para o titânio utilizado em alguns enfeites foram alcançados.
3. Coletor de materiais
O titânio é um metal particularmente reativo com características químicas que lhe permitem interagir com uma ampla variedade de substâncias em altas temperaturas. Ocorre forte adsorção de gás ativo na superfície do titânio de alta pureza, incluindo O2, N2, CO, CO2 e vapor de água mais de 650 graus. Na parede da bomba, o filme de Ti que evaporou pode criar uma superfície com alta capacidade de adsorção. Devido a esta característica, o Ti é frequentemente utilizado como getter em sistemas para bombear vácuos extremamente altos. A pressão operacional final da bomba de íons de pulverização catódica pode ser tão baixa quanto 10-9 Pa quando utilizada em bombas de sublimação, bombas de íons de pulverização catódica, etc.
4. Mídia informativa em formato eletrônico
O uso de titânio de alta pureza em alvos de pulverização catódica, circuitos integrados, DRAMs e monitores de tela plana expandiu-se recentemente como resultado da rápida expansão das indústrias de alta tecnologia em áreas como tecnologia de semicondutores e tecnologia da informação. Avançar.Como barreiras de difusão e materiais de fiação para eletrodos de controle na indústria de semicondutores VLSI, compostos de silício de titânio, compostos de nitrogênio de titânio, compostos de titânio de tungstênio, etc.Esses materiais são produzidos usando a técnica de sputtering, que exige um alvo de titânio com alta grau de pureza, especialmente para elementos radioativos e de metais alcalinos.
Recentemente, titânio de alta pureza que corresponde à pureza do alvo de titânio usado no processo de pulverização catódica também começou a ser usado. A pureza do titânio atualmente precisa ser de pelo menos 4N5 (99,995%) ou 5N (99,999%) para VLSI de 4 Mbit, embora precise ser de pelo menos 6N (99,9999%) para VLSI de terceira geração de 16 Mbit.
